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特种气体系统工程技术标准 GB50646-2020
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附录B 电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气体）
表B 电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气体)
条文说明
本附录为电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气 体 )，本附录的内容在一些工程公司的实际工作中得到使用，作为推荐性内容提供给使用者。
上一节：
附录A 特种气体管道氦检漏方法
下一节：
11.2 设备验收
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前言
1 总则
2 术语
3 特种气体站房
3.1 一般规定
3.2 特种气体站房布置
3.3 特种气体设备布置
4 特种气体工艺系统
4.1 一般规定
4.2 特种气体输送系统
4.3 吹扫和排气系统
4.4 硅烷工艺系统
5 生命安全系统
5.1 特种气体管理系统
5.2 特种气体探测系统
5.3 其他安全设施
5.4 特种气体报警的联动控制
6 特种气体管道输送系统
6.1 一般规定
6.2 材料选型
6.3 管道设计
6.4 管道标识
7 建筑结构
7.1 一般规定
7.2 建筑防火
7.3 建筑构造措施
8 电气与防雷
8.1 配电与照明
8.2 防雷与接地
9 公用工程
9.1 给水排水
9.2 消防
9.3 采暖通风与空气调节
10 特种气体系统工程施工
10.1 一般规定
10.2 主要设备、材料进场验收
10.3 气瓶柜与气瓶架的安装
10.4 阀门箱与阀门盘的安装
10.5 尾气处理装置及纯化器的安装
10.6 特种气体管道安装
10.7 特种气体管道改扩建工程施工
11 特种气体系统工程验收
11.1 一般规定
11.2 设备验收
11.3 管路与系统验收
11.4 气体探测(监控)系统验收
附录A 特种气体管道氦检漏方法
附录B 电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气体）
本标准用词说明
引用标准名录
